场发射扫描电子显微镜与X射线能谱仪

品牌型号：日立 SU8600；布鲁克 XFlash FlatQUAD，XFlash7|60观察二次电子像、背散射电子像；能谱点线面分析等。SEM二次电子分辨率：≤0.7 nm（@1kV）；≤0.6 nm（@15kV）。

SEM-EDS结合高分辨率成像与元素成分分析，广泛应用于多个领域。主要用途包括：材料微观结构的观察与粒度测量，以及元素组成的定性和半定量分析；生物样品（如细胞、组织）形态的观察；岩石微观形貌及元素分布分析；文物材料的鉴定；半导体芯片微观缺陷的检测；电极材料成分均匀性的分析；以及公安刑事案件中微量物证的鉴定等。SEM-EDS为校内物理、化学、生物、地理、历史考古等多个学科提供服务。同时，也面向校外开放，服务对象包括科研院所、制药企业、金属工具企业、化工企业、纳米材料及新材料企业等。