X-射线光电子能谱仪(XPS)主要参数：1.微聚焦单色化小束斑XPS(小面积XPS);单色X射线AlKαX射线，能量分辨高，空间分辨高，灵敏度高，样品损伤小，样品用量少；2.XPS深度剖析；3.化学组分成像(Mapping)分析，空间分辨小于等于3 μm；4.样品表面惰性离子清洁：小束斑不大于(20 μm)至大束斑(Φ200 μm以上)可调；5.附带离子散射谱(ISS)、紫外光电子能谱(UPS)和高温高压原位反应池。    

XPS适用于表面工程、环境科学、能源材料研发、催化剂研究以及生物医学等领域。能够研究材料的表面结构和化学性质和表面的原子结构、组成以及化学成分等信息；还能用于分析材料的表面吸附性质、表面结构、缺陷等；也可以用来确定材料中元素的种类和含量以及材料的化学成分、相组成等。